Il lavoro contenuto in questa tesi riguarda lo studio del fenomeno del dielectric charging in dispositivi RF-MEMS, in particolare in switch dielectric-less. Viene in oltre presentato un set-up di misura innovativo per l’attuazione dei dispositivi suddetti, indipendentemente dalla tensione elettrostatica
Sviluppo di un set-up di misura innovativo per lo studio del fenomeno del dielectric charging in dispositivi RF-MEMS
Mattiuzzo, Francesca
2011/2012
Abstract
Il lavoro contenuto in questa tesi riguarda lo studio del fenomeno del dielectric charging in dispositivi RF-MEMS, in particolare in switch dielectric-less. Viene in oltre presentato un set-up di misura innovativo per l’attuazione dei dispositivi suddetti, indipendentemente dalla tensione elettrostaticaFile in questo prodotto:
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https://hdl.handle.net/20.500.12608/14324