Analisi e verifica dell'uso di un accelerometro in tecnologia MEMS per la misura dell'inclinazione di un oggetto. Esame dei dispositivi MEMS: principali tecnologie di microfabbricazione. Gli accelerometri meccanici, loro principio di funzionamento e caratteristiche in termini di sensibilità. Gli accelerometri capacitivi: principio di funzionamento e lettura degli spostamenti delle microstrutture meccaniche per via elettronica. Tipi di accelerometro capacitivo classificandoli in base al numero di assi. Analisi dell'uso dell'accelerometro come inclinometro per la misura dell'inclinazione

Inclinometri in tecnologia MEMS

De Biasi, Matteo
2011/2012

Abstract

Analisi e verifica dell'uso di un accelerometro in tecnologia MEMS per la misura dell'inclinazione di un oggetto. Esame dei dispositivi MEMS: principali tecnologie di microfabbricazione. Gli accelerometri meccanici, loro principio di funzionamento e caratteristiche in termini di sensibilità. Gli accelerometri capacitivi: principio di funzionamento e lettura degli spostamenti delle microstrutture meccaniche per via elettronica. Tipi di accelerometro capacitivo classificandoli in base al numero di assi. Analisi dell'uso dell'accelerometro come inclinometro per la misura dell'inclinazione
2011-03-15
259
MEMS, accelerometro, inclinometro
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12608/14328