Analisi e verifica dell'uso di un accelerometro in tecnologia MEMS per la misura dell'inclinazione di un oggetto. Esame dei dispositivi MEMS: principali tecnologie di microfabbricazione. Gli accelerometri meccanici, loro principio di funzionamento e caratteristiche in termini di sensibilità. Gli accelerometri capacitivi: principio di funzionamento e lettura degli spostamenti delle microstrutture meccaniche per via elettronica. Tipi di accelerometro capacitivo classificandoli in base al numero di assi. Analisi dell'uso dell'accelerometro come inclinometro per la misura dell'inclinazione
Inclinometri in tecnologia MEMS
De Biasi, Matteo
2011/2012
Abstract
Analisi e verifica dell'uso di un accelerometro in tecnologia MEMS per la misura dell'inclinazione di un oggetto. Esame dei dispositivi MEMS: principali tecnologie di microfabbricazione. Gli accelerometri meccanici, loro principio di funzionamento e caratteristiche in termini di sensibilità. Gli accelerometri capacitivi: principio di funzionamento e lettura degli spostamenti delle microstrutture meccaniche per via elettronica. Tipi di accelerometro capacitivo classificandoli in base al numero di assi. Analisi dell'uso dell'accelerometro come inclinometro per la misura dell'inclinazioneFile | Dimensione | Formato | |
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https://hdl.handle.net/20.500.12608/14328