Realizzazione e caratterizzazione di film sottili in alluminio

I film metallici nanostrutturati sono al giorno d’oggi oggetto di studio e sperimentazione in virtù dei loro molteplici impieghi in ambito industriale. Molteplici sono i campi coinvolti ed interessati alla ricerca di questi nuovi “prodotti” e si cerca di spingere sempre più in alto i livelli prestazionali richiesti dai materiali; si va dal campo ingegneristico a quello chimico e fisico fino a quello che studia la scienza dei materiali che comprende anche il ramo biomedico. La continua ricerca di nuove proprietà caratteristiche dei diversi film sottili metallici realizzabili su substrati generici è infatti il principio sul quale si sviluppa il lavoro di questa tesi: la realizzazione e studio della caratterizzazione di un deposito di alluminio commerciale su substrato di vetro. Si adopera uno dei processi più semplici e versatili per la realizzazione di film sottili cioè il sistema magnetron sputtering che risulta inoltre veloce ed adattabile alle condizioni di lavoro richieste. In questa tesi si sono studiate alcune delle proprietà elettriche e meccanico-qualitative di film di alluminio commerciale realizzati su vetro rispetto a quelle afferenti allo stesso metallo di natura massiva