Realizzazione di film sottile di materiale piezoelettrico e misure preliminari

L'oggetto di questo lavoro di tesi è la realizzazione di un film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering e la successiva esecuzione di misure elettriche preliminari. Tali misure consistono in una prima verifica del fenomeno della piezoelettricità nel materiale depositato, del suo andamento e della sua entità. Il lavoro di realizzazione è corredato da una descrizione dei vari passaggi seguiti