In seguito alla recente dimostrazione sperimentale del fenomeno di mirroring con cristalli piatti di Silicio, si è ritenuto interessante ottenere dei dati di confronto con cristalli sottili di Germanio. Il lavoro di tesi si occupa della ricerca ottimale di sviluppo di una membrana submicrometrica di Germanio attraverso metodi allo stato dell'arte di caratterizzazione di diffrattometria, spettrometria e interferometria, metodi di etching chimico e di drogaggio.

Sviluppo di una Membrana Submicrometrica di Germanio per Esperimenti di Channeling

Colautti, Maja
2014/2015

Abstract

In seguito alla recente dimostrazione sperimentale del fenomeno di mirroring con cristalli piatti di Silicio, si è ritenuto interessante ottenere dei dati di confronto con cristalli sottili di Germanio. Il lavoro di tesi si occupa della ricerca ottimale di sviluppo di una membrana submicrometrica di Germanio attraverso metodi allo stato dell'arte di caratterizzazione di diffrattometria, spettrometria e interferometria, metodi di etching chimico e di drogaggio.
2014-07
41
etch-stop, soluzioni di etching, mirroring, cristalli piatti sottili
File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
Colautti_Maja.pdf

accesso aperto

Dimensione 5.79 MB
Formato Adobe PDF
5.79 MB Adobe PDF Visualizza/Apri

The text of this website © Università degli studi di Padova. Full Text are published under a non-exclusive license. Metadata are under a CC0 License

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12608/18499