Realizzazione e caratterizzazione di film in nitruro di alluminio e prove di funzionamento di un cantilever commerciale

Il lavoro di questa tesi è diviso in due parti: la prima riguarda l'ottimizzazione del processo di realizzazione di film sottile in nitruro di alluminio cristallizzato secondo la struttura della wurtzite tramite la tecnica del magnetron sputtering pulsato DC, mentre la seconda parte è relativa alle prove sperimentali su di un energy harvester piezoelettrico commerciale nella configurazione di trave a sbalzo, cercando di applicare i modelli analitici della meccanica delle vibrazioni