Metodo per il drogaggio n o p su un un substrato di germanio per via chimica (sol gel) e fisica (diffusione termica) per la creazione di giunzioni p-n con profilo di drogaggio e profondità di giunzione controllate
Drogaggio del germanio per diffusione da sorgente spin-on dopant
Gastaldello, Luca
2015/2016
Abstract
Metodo per il drogaggio n o p su un un substrato di germanio per via chimica (sol gel) e fisica (diffusione termica) per la creazione di giunzioni p-n con profilo di drogaggio e profondità di giunzione controllateFile in questo prodotto:
File | Dimensione | Formato | |
---|---|---|---|
TesiLucaGastaldello1057343.pdf
accesso aperto
Dimensione
2.8 MB
Formato
Adobe PDF
|
2.8 MB | Adobe PDF | Visualizza/Apri |
The text of this website © Università degli studi di Padova. Full Text are published under a non-exclusive license. Metadata are under a CC0 License
Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
https://hdl.handle.net/20.500.12608/19623