Realizzazione di sei depositi di film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering, al variare della pressione e della miscela di gas (azoto e argon) immessa nella camera di sputtering
Realizzazione di film sottili in nitruro di alluminio
Dal Santo, Roberto
2015/2016
Abstract
Realizzazione di sei depositi di film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering, al variare della pressione e della miscela di gas (azoto e argon) immessa nella camera di sputteringFile in questo prodotto:
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https://hdl.handle.net/20.500.12608/19639