Realizzazione e test preliminari di un raccoglitore di energia piezoelettrico. il materiale piezoelettrico utilizzato nel cantilever è nitruro di alluminio ottenuto per magnetron sputtering reattivo. Il cantilever è composto da un sistema multistrato basato su un substrato di rame, con sopra altri quattro strati, rispettivamente di alluminio, nitruro di alluminio, poliimide e alluminio
Realization and preliminary operation tests of AlN-based piezoelectric cantilever for kinetic energy harvesting
Fiorindo, Matteo
2015/2016
Abstract
Realizzazione e test preliminari di un raccoglitore di energia piezoelettrico. il materiale piezoelettrico utilizzato nel cantilever è nitruro di alluminio ottenuto per magnetron sputtering reattivo. Il cantilever è composto da un sistema multistrato basato su un substrato di rame, con sopra altri quattro strati, rispettivamente di alluminio, nitruro di alluminio, poliimide e alluminioFile in questo prodotto:
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https://hdl.handle.net/20.500.12608/20532