Realizzazione e test preliminari di un raccoglitore di energia piezoelettrico. il materiale piezoelettrico utilizzato nel cantilever è nitruro di alluminio ottenuto per magnetron sputtering reattivo. Il cantilever è composto da un sistema multistrato basato su un substrato di rame, con sopra altri quattro strati, rispettivamente di alluminio, nitruro di alluminio, poliimide e alluminio

Realization and preliminary operation tests of AlN-based piezoelectric cantilever for kinetic energy harvesting

Fiorindo, Matteo
2015/2016

Abstract

Realizzazione e test preliminari di un raccoglitore di energia piezoelettrico. il materiale piezoelettrico utilizzato nel cantilever è nitruro di alluminio ottenuto per magnetron sputtering reattivo. Il cantilever è composto da un sistema multistrato basato su un substrato di rame, con sopra altri quattro strati, rispettivamente di alluminio, nitruro di alluminio, poliimide e alluminio
Scuola di Ingegneria
INGEGNERIA DEI MATERIALI
2015-12-11
piezoelectric, aluminum, nitride, energy, harvesting
Lauree magistrali
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12608/20532