Il lavoro di questa tesi riguarda la realizzazione e le prove di un convertitore piezoelettrico per energy harvesting con film in nitruro di alluminio. La deposizione del film in nitruro di alluminio è stata realizzata presso il laboratorio di materiali micro-nanostrutturati dell'Università  di Padova tramite un processo di magnetron sputtering reattivo. Sul montaggio della configurazione sono state fatte delle prove in modo da avere un sistema funzionante in modo affidabile.

Realizzazione e prove di un convertitore piezoelettrico basato su AlN in configurazione a trave a sbalzo

Gava, Michele
2018/2019

Abstract

Il lavoro di questa tesi riguarda la realizzazione e le prove di un convertitore piezoelettrico per energy harvesting con film in nitruro di alluminio. La deposizione del film in nitruro di alluminio è stata realizzata presso il laboratorio di materiali micro-nanostrutturati dell'Università  di Padova tramite un processo di magnetron sputtering reattivo. Sul montaggio della configurazione sono state fatte delle prove in modo da avere un sistema funzionante in modo affidabile.
2018-03-06
piezoelettricità, cantilever, Magnetron, sputtering, AlN, nitruro, alluminio
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12608/26009