Il lavoro di questa tesi riguarda la realizzazione e le prove di un convertitore piezoelettrico per energy harvesting con film in nitruro di alluminio. La deposizione del film in nitruro di alluminio è stata realizzata presso il laboratorio di materiali micro-nanostrutturati dell'Università di Padova tramite un processo di magnetron sputtering reattivo. Sul montaggio della configurazione sono state fatte delle prove in modo da avere un sistema funzionante in modo affidabile.
Realizzazione e prove di un convertitore piezoelettrico basato su AlN in configurazione a trave a sbalzo
Gava, Michele
2018/2019
Abstract
Il lavoro di questa tesi riguarda la realizzazione e le prove di un convertitore piezoelettrico per energy harvesting con film in nitruro di alluminio. La deposizione del film in nitruro di alluminio è stata realizzata presso il laboratorio di materiali micro-nanostrutturati dell'Università di Padova tramite un processo di magnetron sputtering reattivo. Sul montaggio della configurazione sono state fatte delle prove in modo da avere un sistema funzionante in modo affidabile.File in questo prodotto:
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https://hdl.handle.net/20.500.12608/26009