Realizzazione e caratterizzazione di un cantilever con film in AlN per raccolta di energia cinetica

Studio di un convertitore piezoelettrico in configurazione a trave a sbalzo su cui è stato montato un film in AlN e della tecnica di deposizione mediante magnetron sputtering di tipo reattivo. E' stata posta attenzione ai parametri di influenza della tecnica di deposizione. Il convertitore è stato sollecitato meccanicamente mediante uno shaker elettrodinamico per ricavare l'andamento della tensione in uscita in funzione della frequenza di vibrazione e la frequenza di risonanza della struttura