Sviluppo della fotolitografia nell'industria dei semiconduttori

La fotolitografia è quel complesso processo che viene oggi comunemente utilizzato nella produzione dei chip e che ha dato un enorme contributo a mantenere valida per molti anni la legge di Moore, rendendo i transistor sempre più piccoli, veloci e potenti. Questa tesi si propone di presentare le principali tecnologie fotolitografiche e le più importanti caratteristiche degli strumenti impiegati che hanno permesso di giungere ai chip odierni. Vengono quindi descritte le recenti tecnologie e il ruolo chiave che queste occupano anche nelle relazioni tra Stati.