Il lavoro di tesi consiste in una ricerca bibliografica sui film sottili piezoelettrici depositati attraverso la tecnica high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) avvolorata da immagini acquisite nel corso di uno stage presso i Laboratori Nazionali di Legnaro dell'INFN.

Film sottili piezoelettrici depositati attraverso la tecnica HiPIMS

SANCHINI, PIETRO
2024/2025

Abstract

Il lavoro di tesi consiste in una ricerca bibliografica sui film sottili piezoelettrici depositati attraverso la tecnica high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) avvolorata da immagini acquisite nel corso di uno stage presso i Laboratori Nazionali di Legnaro dell'INFN.
2024
Piezoelectric thin films deposited using the HiPIMS technique
piezoelettrico
HiPIMS
Alluminio nitruro
materiali
film sottile
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.12608/92408