Funzionalizzazione carbossilica su substrati di nitruro di silicio

L'obiettivo della ricercaèe quello di depositare un film polimerico carbossilico su nitruro di silicio, per la creazione di un dispositivo analitico usato nel controllo ambientale, in particolare per le proteine. Si è cercato di ottenere tale trattamento superficiale mediante PECVD, per deposizione al plasma di acido acrilico; in particolare si sono studiate le relazioni tra i parametri adottati nei vari processi di trattamento e le caratteristiche ottenute nel film polimerico, attraverso una fase di caratterizzazione dei campioni ottenuti. Si è poi cercato di ottimizzare la quantita di gruppi carbossilici contenuti nel film e la stabilita, soprattutto in ambiente acquoso, del ricoprimento stesso.